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粗糙度轮廓仪的发展方向,请看这里分析

发布日期: 2021-01-23
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  粗糙度轮廓仪的发展方向,请看这里分析
  随着机械、电子以及光学工业的飞速发展,对精密机械加工表面的质量要求日益提高,使得表面粗糙度的测量具有越来越重要的地位。对激光核聚变驱动器、磁盘、 光盘、X射线光学仪器元件、大功率激光窗口以及同步辐射器元件的表面粗糙度要求,均已达到了纳米级要求。这些需求也极大的促进了表面粗糙度测量技术的发展。粗糙度轮廓仪表面粗糙测量技术的未来发展方向如何呢?
  现代科学技术的许多领域对表面的质量提出了更高的要求,一方面现有的常规检测方法不能满足测量精度的要求,特别是近几年以来纳米技术的出现和逐步的推广应用, 相应的提高了对表面粗糙度测量精度的要求,使表面粗糙度测量技术吵着更精、更准的方向发展。
  另一方面,复杂立体形状加工技术的发展也对三维表面粗糙度测量的发展提出了新的要求。在过去很长一个时期内关于表面粗糙度的表征参数都是在某一法向截面所截得的 轮廓线上进行评定,只反映高度和横向距离之间的关系。属于“二维”评定;但当需要考察的表面粗糙度是一个小面积区域内做评定时,就还应考虑纵向的距离关系,这就拓展为“三维”评定表面粗糙度成为可行。
  电子技术、计算机技术和精密加工技术的发展为表面粗糙度测量的进一步发展提供了技术基础。20世纪80年代出现的原子力显微镜(AFM)、扫描隧道显微镜(STM)、扫描进场光学显微镜(SNOM)、光子扫描隧道显微镜(PSTM)等用于表面粗糙度的测量时一个很希望的方向。
  此外,在科学研究和生产实践的许多领域,以往的加工后抽样测量已经不能再满足要求,这就需要有能够实现在线测量的测量新方法。一次超高精度表面的高精度测量、三维表面粗糙度测量以及在线实时测量使粗糙度测量将来发展的主要方向。
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